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等离子-物理气相沉积(PS-PVD)的材料输运行为与沉积机理研究进展
文献摘要：
等离子-物理气相沉积(PS-PVD)具有制备层柱等多结构可控涂层的优异特性,但针对PS-PVD涂层结构调控的研究多局限于试错性试验,缺乏对涂层沉积与调控理论的研究,因此亟需对现有研究结果进行归纳、总结,以对PS-PVD沉积原理与涂层结构调控的进一步研究提供理论参考.针对PS-PVD所特有的涂层材料长距离输运、气液固多相态沉积过程,从涂层结构特征出发,综述PS-PVD沉积单元在经历喷枪内瞬时蒸发和喷枪外持续蒸发行为后,所进行的长距离输运行为与沉积行为的完整过程.此外,结合输运行为与沉积行为分析参数调控对沉积单元及涂层结构的影响规律,并对PS-PVD柱状结构涂层沉积机理的研究以及涂层制备技术的发展进行展望.
文献关键词：
等离子-物理气相沉积(PS-PVD);输运行为;沉积机理;结构调控
中图分类号：
作者姓名：
黄璐;刘梅军;杨冠军
作者机构：
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室 西安 710049
文献出处：
引用格式：
[1]黄璐;刘梅军;杨冠军-.等离子-物理气相沉积(PS-PVD)的材料输运行为与沉积机理研究进展)[J].中国表面工程,2022(01):10-24
A类：
试错性
B类：
物理气相沉积,PS,PVD,输运行为,沉积机理,多结构,结构可控,涂层结构,结构调控,涂层材料,长距离,气液固,相态,沉积过程,沉积单元,喷枪,沉积行为,整过,行为分析,参数调控,柱状结构,涂层制备,制备技术
AB值：
0.25957
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