典型文献
溅射功率对LiCoO2薄膜结构及性能的影响研究
文献摘要：
采用射频磁控溅射技术,在不锈钢衬底上沉积制备了(003)取向的LiCoO2薄膜.通过X射线衍射仪、扫描电镜、拉曼及电化学测试探究了溅射功率对LiCoO2薄膜结构及电化学性能的影响.结果表明在80-160W功率范围内,适当增加功率有助于Co与O的键合,提高薄膜的结晶度.功率为120 W时,首次放电比容量为40.9 μAh cm-2μm-1,循环100圈后容量保持率为61.2％;但当功率提高到160 W时,由于过快的沉积速率难以与粒子在衬底表面的扩散速率相匹配反而会造成LiCoO2结晶度下降,晶格产生畸变,阻碍了 Li+在材料内部的扩散,循环100圈后容量保持率只有54.2％.
文献关键词：
固态薄膜电池;LiCoO2正极薄膜;溅射功率;射频磁控溅射
中图分类号：
作者姓名：
孙闯;黄昊;于文华;宋欣忆;李镰池;吴爱民
作者机构：
大连理工大学材料科学与工程学院 大连116024
文献出处：
引用格式：
[1]孙闯;黄昊;于文华;宋欣忆;李镰池;吴爱民-.溅射功率对LiCoO2薄膜结构及性能的影响研究)[J].真空科学与技术学报,2022(05):357-363
A类：
160W,固态薄膜电池
B类：
溅射功率,LiCoO2,薄膜结构,射频磁控溅射,磁控溅射技术,不锈钢,钢衬,衬底,拉曼,电化学测试,试探,电化学性能,键合,结晶度,放电比容量,Ah,容量保持率,沉积速率,扩散速率,晶格,畸变,Li+,正极
AB值：
0.296672
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