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典型文献
预沉积ZnO薄膜对ZnO?MoS2/ZnO复合涂层结构与性能影响
文献摘要:
目的 通过优化原子层沉积工艺获取不同厚度ZnO薄膜,研究ZnO薄膜晶体取向对ZnO?MoS2涂层生长结构的影响,获得具有优异摩擦学性能的ZnO?MoS2/ZnO复合涂层.方法 采用原子层沉积法在不锈钢基体上预沉积不同厚度的ZnO薄膜,再用射频磁控溅射技术继续沉积ZnO?MoS2涂层,制备ZnO?MoS2/ZnO固体润滑复合涂层.结果 X射线衍射分析发现,预沉积ZnO薄膜有诱导后续ZnO?MoS2涂层沉积生长的作用,预沉积100 nm厚ZnO薄膜的ZnO?MoS2/ZnO复合涂层显示出宽化的MoS2(002)馒头峰,其截面形貌显示为致密的体型结构,获得的摩擦因数最低(0.08),纳米硬度最高(2.33 GPa),硬度/模量比显示该复合涂层的耐磨损性能得到提升;X射线光电子能谱分析结果表明,复合涂层表面游离S与空气中水发生反应程度大约为原子数分数5%,显示复合涂层耐湿性能较好;基于原子层沉积ZnO薄膜生长及其对后续ZnO?MoS2涂层生长的影响分析,提出了ZnO?MoS2/ZnO复合涂层磨损模型,阐明了ZnO薄膜对复合涂层结构及摩擦学性能的影响,并以该模型解释了200 nm厚ZnO薄膜上沉积ZnO?MoS2涂层出现的摩擦因数由高到低的变化趋势及最终磨损失效现象.结论 合适的原子层沉积制备的ZnO薄膜有利于MoS2(002)取向生长,可有效提升ZnO?MoS2/ZnO复合涂层的摩擦学性能;控制ZnO薄膜厚度,可实现ZnO薄膜与基底及ZnO?MoS2层间界面之间的优化结合,以制得具有较好摩擦学性能及使用寿命的ZnO?MoS2/ZnO复合涂层.
文献关键词:
原子层沉积;ZnO薄膜;ZnO-MoS2/ZnO复合涂层;晶化;润滑性能
作者姓名:
曹明;赵岚;余健;唐平;许欢;钟珮瑶
作者机构:
江西省材料表面再制造工程技术研究中心,江西 九江 332005;九江学院 材料科学与 工程学院,江西 九江 332005;九江学院 药学与生命科学学院,江西 九江 332099
文献出处:
引用格式:
[1]曹明;赵岚;余健;唐平;许欢;钟珮瑶-.预沉积ZnO薄膜对ZnO?MoS2/ZnO复合涂层结构与性能影响)[J].表面技术,2022(11):226-234,243
A类:
B类:
预沉积,ZnO,MoS2,复合涂层,涂层结构,结构与性能,晶体取向,生长结构,摩擦学性能,原子层沉积法,不锈钢基,射频磁控溅射,磁控溅射技术,固体润滑,衍射分析,沉积生长,馒头,截面形貌,体型,摩擦因数,纳米硬度,GPa,耐磨损性能,光电子能谱分析,涂层表面,反应程度,原子数,耐湿性能,薄膜生长,磨损模型,模型解释,磨损失效,薄膜厚度,层间界面,晶化,润滑性能
AB值:
0.230348
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