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碳/钛复合薄膜结构二次电子发射规律
文献摘要：
随着我国航天事业的发展,航天器中搭载的微波部件趋于小型化、集成化,而由此带来的微放电效应愈发显著,如何有效抑制微放电效应已成为当前研究的热点.文章使用磁控溅射技术制备了不同掺杂比例的钛/碳复合薄膜.对薄膜样品进行形貌、拉曼光谱及二次电子发射特性的测试分析.结果表明:随着金属钛掺杂比例的提高,薄膜按照柱状结构生长的规律越明显,致密度和平整度越好.结合测试结果及相关理论分析薄膜作用的机理,在碳/钛原子比为0.764时,复合薄膜的最大二次电子发射系数为1.40.碳/钛纳米复合薄膜对微放电效应具有良好的抑制效果,且具有大面积制备及工艺简单等特点.有助于未来有效载荷系统向高功率、高频段、集成化的方向发展.
文献关键词：
表面结构;钛/碳基纳米薄膜;微放电效应;二次电子发射系数
中图分类号：
作者姓名：
柴雅芳;朱淑凯;赵亚楠;胡天存;杨晶;何鋆;胡忠强;刘明
作者机构：
西安交通大学 电子科学与工程学院 电子陶瓷与器件教育部重点实验室与国际电介质研究中心,西安710049;中国空间技术研究院西安分院 空间微波技术重点实验室,西安710000
文献出处：
引用格式：
[1]柴雅芳;朱淑凯;赵亚楠;胡天存;杨晶;何鋆;胡忠强;刘明-.碳/钛复合薄膜结构二次电子发射规律)[J].空间电子技术,2022(04):93-98
A类：
B类：
薄膜结构,国航,航天事业,航天器,搭载,微波部件,小型化,集成化,微放电效应,磁控溅射技术,掺杂比例,碳复合,拉曼光谱,测试分析,钛掺杂,柱状结构,致密度,平整度,原子比,大二,二次电子发射系数,纳米复合薄膜,抑制效果,有效载荷,高功率,高频段,表面结构,碳基,基纳,纳米薄膜
AB值：
0.310905
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