典型文献
高引燃脉冲新HiPIMS模式对TiN/CrN多层膜结构和性能的影响
文献摘要：
多层TiN/CrN薄膜能显著改善复杂环境下部件的性能和寿命,为获得性能良好的TiN/CrN多膜层,提出一种高引燃脉冲新HiPIMS模式(高功率脉冲磁控溅射技术)的新放电技术,在一到四引燃脉冲个数条件下制备TiN/CrN多层薄膜.结果表明,随着引燃脉冲个数的增加,TiN/CrN薄膜膜基结合力增加,三引燃脉冲条件下结合力达到HF1(压痕法结合力指标,HF1为性能良好)压痕边缘膜层出现碎裂但膜层并未崩裂,在四引燃脉冲条件下膜基结合力也为HF1,且相较三引燃脉冲膜层碎裂也消失,膜基结合力最佳.同时,随着引燃脉冲个数的增加,膜层的粗糙度下降,磨痕变窄,硬度增强,硬度的波动范围减小,薄膜摩擦因数逐渐降低,四引燃脉冲条件下摩擦因数为0.25,膜层厚度呈先增加后减小的趋势,在三引燃脉冲个数条件下达到最大值332.1 nm试验结果表明引燃脉冲能够强化膜层与基体之间的结合力,硬度以及摩擦磨损的性能,细化晶粒.
文献关键词：
TiN/CrN多膜层;高功率脉冲磁控溅射技术;高引燃脉冲;引燃脉冲个数;结合力
中图分类号：
作者姓名：
高凯晨;巩春志;徐啸尘;田修波
作者机构：
哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室 哈尔滨 150001
文献出处：
引用格式：
[1]高凯晨;巩春志;徐啸尘;田修波-.高引燃脉冲新HiPIMS模式对TiN/CrN多层膜结构和性能的影响)[J].中国表面工程,2022(05):145-154
A类：
高引燃脉冲,引燃脉冲个数
B类：
HiPIMS,TiN,CrN,多层膜结构,结构和性能,复杂环境,获得性,高功率脉冲磁控溅射技术,数条,多层薄膜,膜基结合力,力达,HF1,压痕,碎裂,崩裂,粗糙度,磨痕,变窄,波动范围,摩擦因数,膜层厚度,下达,摩擦磨损,细化晶粒
AB值：
0.196076
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
