典型文献
磁控溅射CrSiN涂层及其摩擦磨损性能研究
文献摘要：
采用磁控溅射沉积方法,改变Si靶功率制备不同Si含量的CrSiN涂层.通过X射线能谱仪、X射线衍射仪、X射线光电子能谱分析仪、扫描电镜分析涂层的化学成分、晶体结构和微观形貌,使用纳米划痕仪和摩擦磨损试验仪测试涂层的硬度、结合力和摩擦磨损行为.结果表明:随着Si靶功率的增加,CrSiN涂层中Si含量增加,涂层由疏松的三角锥结构转变为致密的CrN纳米晶粒和Si3N4非晶复合结构,涂层硬度、结合力和摩擦系数均呈现先增加后减小的趋势,当Si靶功率为60 W时,涂层具有最佳的摩擦磨损性能,涂层硬度、结合力和摩擦系数分别为23.7 GPa、29.4 N和0.29.
文献关键词：
磁控溅射;CrSiN涂层;Si含量;微观结构;摩擦磨损
中图分类号：
作者姓名：
付保英
作者机构：
鹤壁职业技术学院机电工程学院,河南鹤壁458030
文献出处：
引用格式：
[1]付保英-.磁控溅射CrSiN涂层及其摩擦磨损性能研究)[J].电镀与精饰,2022(07):36-41
A类：
CrSiN
B类：
磁控溅射,摩擦磨损性能,溅射沉积,能谱仪,光电子能谱分析,扫描电镜分析,晶体结构,微观形貌,纳米划痕,摩擦磨损试验,结合力,摩擦磨损行为,角锥,结构转变,CrN,纳米晶,晶粒,Si3N4,非晶,复合结构,涂层硬度,摩擦系数,GPa
AB值：
0.269287
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