典型文献
保温时间对Ti/TiN/TiCN涂层结构、 残余应力及耐磨性的影响
文献摘要：
目的 改善镁合金表面硬度和耐磨性能.方法 采用磁控溅射法在AZ31表面制备复合Ti/TiN/TiCN涂层,在不同保温时间下对沉积后的复合涂层进行退火处理.借助X射线荧光光谱(XRF)测试复合涂层表面平均元素含量,采用X射线小角掠入射(GIXRD)技术研究涂层物相组成和残余应力,利用扫描电镜(SEM)观察涂层表面形貌和磨痕形貌,借助销盘式摩擦磨损试验机和纳米压痕仪评估涂层的耐磨性能.结果 退火涂层的晶粒尺寸增加,内部缺陷减少,涂层更致密,残余应力显著下降.退火前后涂层的物相均为FCC的TiCN,不同保温时间下的涂层具有不同的择优生长取向.随着保温时间的延长,涂层表面Ti、C含量先增后减,N元素含量先减后增,涂层表面硬度下降,摩擦因数增大,耐磨性能下降.沉积涂层的韧性较好,摩擦因数波动较大,磨损机制以刮擦磨损为主.退火30 min后,涂层的磨损率最低,磨损机制以磨粒磨损和黏着磨损为主.退火90 min后,涂层的磨痕最宽,韧性最差,磨损率最高,磨损机制以磨粒磨损和氧化磨损为主.结论 退火有助于降低残余应力,但退火时间不宜过长,时间超过30 min,涂层的耐磨性能下降.
文献关键词：
保温时间;Ti/TiN/TiCN涂层;磁控溅射;残余应力;耐磨性能
中图分类号：
作者姓名：
李海涛;程东海;师超;张体明;陈宜
作者机构：
南昌航空大学 航空制造工程学院 南昌 330063;南昌航空大学 材料科学与工程学院 南昌 330063
文献出处：
引用格式：
[1]李海涛;程东海;师超;张体明;陈宜-.保温时间对Ti/TiN/TiCN涂层结构、 残余应力及耐磨性的影响)[J].表面技术,2022(07):141-149
A类：
B类：
保温时间,TiN,TiCN,涂层结构,残余应力,镁合金,金表,表面硬度,耐磨性能,磁控溅射法,AZ31,表面制备,复合涂层,层进,退火处理,荧光光谱,XRF,涂层表面,元素含量,小角,掠入射,GIXRD,物相组成,表面形貌,磨痕形貌,销盘,盘式,摩擦磨损试验机,纳米压痕,压痕仪,晶粒尺寸,内部缺陷,FCC,择优,优生,生长取向,先减,摩擦因数,性能下降,磨损机制,刮擦,磨损率,磨粒磨损,黏着磨损,氧化磨损,退火时间
AB值：
0.314776
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