典型文献
调制结构对Cr-CrN-Cr-CrAlN多层膜性能的影响
文献摘要：
为提高钛合金的服役性能,采用真空阴极电弧离子镀技术,在TC4钛合金上制备不同RCr-CrN:RCr-CrAlN调制比的多层膜.使用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计、划痕仪、应力测试仪和砂粒冲蚀试验仪检测并分析了多层膜的截面形貌、结构、厚度、硬度、结合力、残余应力和抗砂粒冲蚀性能等.重点研究了RCr-CrN:RCr-CrAlN调制比对多层膜性能的影响.结果表明:所制备的多层膜厚度均在7～8μm,过渡层约1.5μm厚,单一周期厚度在150～200nm;膜层均呈现(200)择优生长面心立方结构;随着Cr-CrAlN层占比的增加,膜层的硬度、残余应力和膜基结合力均相应地上升;在90°攻角下不同调制比的多层膜未完全破损前,其抗砂粒冲蚀能力是TC4基材的3倍以上,而在30°攻角下多层膜的抗砂粒冲蚀能力则约为TC4基材的8倍;RCr-CrN:RCr-CrAlN调制比为1:2时所制备的多层膜具有最佳的综合性能.
文献关键词：
调制比;多层膜;抗砂粒冲蚀性能;电弧离子镀;钛合金
中图分类号：
作者姓名：
谌曲平;林松盛;刘灵云;郭朝乾;石倩;汪云程;吕亮;刘若愚;易出山
作者机构：
中国航发南方工业有限公司,湖南 株洲 412000;广东省科学院新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实验室,广东省现代表面工程技术重点实验室,广东 广州 510650
文献出处：
引用格式：
[1]谌曲平;林松盛;刘灵云;郭朝乾;石倩;汪云程;吕亮;刘若愚;易出山-.调制结构对Cr-CrN-Cr-CrAlN多层膜性能的影响)[J].真空,2022(03):29-34
A类：
RCr,抗砂粒冲蚀,抗砂粒冲蚀性能
B类：
CrN,CrAlN,多层膜,膜性能,钛合金,服役性能,阴极电弧,电弧离子镀,离子镀技术,TC4,调制比,显微硬度,硬度计,划痕,应力测试,测试仪,冲蚀试验,截面形貌,残余应力,膜厚度,过渡层,一周,200nm,膜层,择优,优生,生长面,面心立方,膜基结合力,攻角,同调,基材
AB值：
0.245377
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