典型文献
多层结构设计对类石墨碳基薄膜摩擦学性能的影响
文献摘要：
采用直流磁控溅射法在15-5PH钢样片上制备Cr/GLC单层膜和具有6个交替结构的Cr/GLC多层膜.利用扫描电镜(SEM)、拉曼光谱仪(Raman)对薄膜结构进行表征;采用纳米压痕仪、划痕仪等测试其力学性能;利用MFT-5000多功能摩擦磨损试验机测试薄膜在大气及海水环境中的摩擦磨损性能,并分析其磨损机理.结果表明:多层结构设计提高了薄膜的致密度和石墨化程度,降低了内应力,Cr/GLC多层膜的膜基结合力、硬度及弹性模量均高于Cr/GLC单层膜.中、低载荷时,两种类石墨碳基薄膜的磨损形式以磨粒磨损为主,Cr/GLC多层膜在大气环境及海水环境下较Cr/GLC薄膜具有更好的摩擦学性能.高载荷下,Cr/GLC多层膜在大气环境下仍具有较好的摩擦学性能,但在海水环境下的耐磨性劣化.
文献关键词：
磁控溅射;类石墨碳基薄膜;摩擦磨损性能;多层膜
中图分类号：
作者姓名：
范恒华;李迎春;聂傲男;邱明;庞晓旭
作者机构：
河南科技大学机电工程学院,河南 洛阳471003;河南科技大学机械装备先进制造河南省协同创新中心,河南洛阳 471003
文献出处：
引用格式：
[1]范恒华;李迎春;聂傲男;邱明;庞晓旭-.多层结构设计对类石墨碳基薄膜摩擦学性能的影响)[J].热加工工艺,2022(16):93-100
A类：
类石墨碳基薄膜
B类：
多层结构,摩擦学性能,直流磁控溅射法,5PH,样片,GLC,单层膜,多层膜,拉曼光谱,光谱仪,Raman,薄膜结构,纳米压痕,压痕仪,划痕,MFT,摩擦磨损试验机,海水环境,摩擦磨损性能,磨损机理,致密度,石墨化程度,内应力,膜基结合力,弹性模量,磨损形式,磨粒磨损,大气环境,高载荷,耐磨性,劣化
AB值：
0.256131
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