典型文献
基于光斑图像法的运动平行度测量与优化
文献摘要：
运动平行度是运动台的核心参数之一,对运动台性能有直接影响.提出一种基于光斑图像的测量方法用于精确测量运动平行度.在理论推导和分析的基础上,搭建了一套精度优于50nm的运动平行度测量系统.在此测量系统上对运动台进行运动平行度测量,运动平行度误差为11.66 μm.在根据上述结果对运动台进行优化后,最佳运动平行度误差可以达到6.22 μmi.为了验证所提方法的可行性,使用位移传感器再次测量运动平行度.位移传感器测量结果与光斑图像法测量结果的均方根误差优于248 nm,即两种测量结果基本一致.
文献关键词：
测量;表面测量;运动平行度;光斑图像法;图像处理;光学系统
中图分类号：
作者姓名：
刘星;许孝忠;魏涛;魏劲松
作者机构：
中国科学院上海光学精密机械研究所微纳光电子功能材料实验室,上海201800;中国科学院大学材料与光电研究中心,北京100049;苏州科技大学材料科学与工程学院,苏州市微纳光电材料与传感器重点实验室,江苏苏州215009
文献出处：
引用格式：
[1]刘星;许孝忠;魏涛;魏劲松-.基于光斑图像法的运动平行度测量与优化)[J].光学学报,2022(19):83-91
A类：
光斑图像法,运动平行度
B类：
运动台,核心参数,精确测量,理论推导,50nm,测量系统,行运,平行度误差,根据上述,佳运,差可,mi,位移传感器,传感器测量,表面测量,光学系统
AB值：
0.162508
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