典型文献
大数值孔径(NA=0.55)变倍率极紫外光刻投影物镜偏振像差高精度检测方法
文献摘要：
提出了一种严格的非线性成像测量大数值孔径(NA=0.55)变倍率极紫外光刻(EUVL)投影物镜偏振像差的方法.首先在变倍率极紫外(EUV)严格矢量成像模型基础上,通过建立偏振像差与空间像频谱的非线性关系,得到非线性超定方程组,并提出一种同步旋转测量的方法,通过构建和训练深度神经网络算法求解严格非线性超定方程组,实现了EUV投影物镜偏振像差琼斯光瞳的高精度快速测量.仿真结果表明,测量精度达到了 10-4λ(λ为波长)量级,该技术将支撑3～7 nm技术节点EUVL质量的在线监控.
文献关键词：
测量;极紫外光刻;光刻成像理论;像差测量;成像测量技术;偏振像差
中图分类号：
作者姓名：
李昂;李艳秋;韦鹏志;袁淼;王成成
作者机构：
北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室,北京100081
文献出处：
引用格式：
[1]李昂;李艳秋;韦鹏志;袁淼;王成成-.大数值孔径(NA=0.55)变倍率极紫外光刻投影物镜偏振像差高精度检测方法)[J].光学学报,2022(23):56-67
A类：
EUVL,光刻成像理论
B类：
数值孔径,NA,倍率,极紫外光刻,投影物镜,偏振像差,高精度检测,成像模型,非线性关系,超定方程,方程组,旋转测量,深度神经网络,神经网络算法,解严,格非,琼斯,快速测量,测量精度,在线监控,像差测量,成像测量技术
AB值：
0.237421
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
