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极紫外正入射光学系统研究进展
文献摘要：
极紫外正入射光学系统广泛应用于生物结构显微成像、等离子体诊断、太阳物理观测和极紫外光刻等领域中,对其开展深入研究具有重要意义.本文对同济大学精密光学工程研究所在极紫外正入射光学系统方面的最新进展进行介绍,列举了应用于超热电子诊断、微纳成像、极紫外辐照损伤及Z箍缩等离子体诊断等不同场景中的多套正入射光学系统.这些系统分别在相应的应用中实现了优异的性能表现:毫米级视场内微米级的空间分辨;几十微米级视场内亚微米的超高空间分辨;大数值孔径下的超高能量密度极紫外辐照及多能点多通道的时空间诊断.研究所在极紫外正入射光学系统研究中取得的进展为我国等离子体诊断设备的自主可控及高端制造装备的技术储备提供了有力支持.
文献关键词：
极紫外;多层膜;Schwarzschild系统;等离子体诊断;成像系统;聚焦系统
中图分类号：
作者姓名：
张哲;伊圣振;黄秋实;陈晟昊;李文斌;张众;王占山
作者机构：
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台,上海200092
文献出处：
引用格式：
[1]张哲;伊圣振;黄秋实;陈晟昊;李文斌;张众;王占山-.极紫外正入射光学系统研究进展)[J].光学精密工程,2022(21):2678-2687
A类：
B类：
正入射光,光学系统,生物结构,显微成像,等离子体诊断,太阳物理,极紫外光刻,同济大学,光学工程,工程研究,最新进展,热电子,电子诊断,紫外辐照,辐照损伤,伤及,同场,多套,毫米,视场,场内,微米级,空间分辨,几十微米,亚微米,数值孔径,高能量密度,多通道,诊断设备,自主可控,高端制造,制造装备,技术储备,多层膜,Schwarzschild,成像系统,聚焦系统
AB值：
0.327986
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