典型文献
2.5D空间光滤波器设计与制备
文献摘要：
纯相位迭代全息图可以用来设计空间光滤波器.由于介质与空气存在折射率差,空间光在经过全息干板时,会产生相位变化.文章以每个像素光刻胶的高度调制相位,设计出了 2.5D灰度全息空间光滤波器.文章还利用电子束光刻机进行灰度曝光,制备不同高度的光刻胶,通过干法刻蚀将图案刻蚀到硅片上.对电子束曝光工艺、显影参数、刻蚀工艺等进行了优化,制备出了高衍射效率空间光滤波器,并进行了表征.
文献关键词：
全息光学;灰度曝光;空间光滤波器
中图分类号：
作者姓名：
李攀;郑盼盼;卢宏
作者机构：
华中科技大学武汉光电国家研究中心,湖北武汉430074
文献出处：
引用格式：
[1]李攀;郑盼盼;卢宏-.2.5D空间光滤波器设计与制备)[J].光学技术,2022(02):144-146
A类：
空间光滤波器,电子束光刻机,灰度曝光
B类：
5D,滤波器设计,全息图,设计空间,折射率,相位变化,像素,光刻胶,不同高度,干法刻蚀,图案,硅片,电子束曝光,曝光工艺,刻蚀工艺,衍射效率,全息光学
AB值：
0.264366
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