典型文献
飞秒激光制备柔性电子器件进展
文献摘要：
消费电子市场正推动柔性电子器件向集成化、小型化及可穿戴的方向发展,同时也对柔性电子器件的制备提出了新的要求.光刻工艺加工精度高,但其成本昂贵、加工流程复杂且效率低.相比而言,飞秒激光加工兼有加工精度高和工艺流程简单的特点,已展现在制备柔性电子器件方面的独特优势和应用前景.为了更好地了解这一新兴领域的进展,本文概述了与柔性电子器件制备相关的五种飞秒激光加工工艺机理,包括激光液相纳米材料合成、激光纳米材料还原、激光诱导纳米连接、激光电极图案化及激光表面织构化,并介绍了制备的典型柔性电子器件性能,对存在的问题和未来发展趋势进行了分析和展望.
文献关键词：
飞秒激光;微纳加工;柔性电子;纳米材料连接;纳米材料制备
中图分类号：
作者姓名：
廖嘉宁;张东石;李铸国
作者机构：
上海交通大学材料科学与工程学院, 上海市激光制造与材料改性重点实验室, 焊接与激光制造研究所, 上海 200240
文献出处：
引用格式：
[1]廖嘉宁;张东石;李铸国-.飞秒激光制备柔性电子器件进展)[J].光电工程,2022(02):44-61
A类：
纳米材料连接
B类：
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AB值：
0.312697
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