典型文献
用改进灰关联法研究磁控溅射工艺参数对二氧化钛镀膜的影响
文献摘要：
磁控溅射中工艺参数对二氧化钛镀膜透过率和厚度有较大影响,传统工艺参数决策所采用的单一因素法忽略参数间的关联性.构建的改进灰关联度量化模型在基于数据绝对位置差异的传统灰关联模型的基础上,考虑了数据间变化率差异,结合磁控溅射中主要影响参数──溅射温度、本底真空压强、溅射气压和溅射电压,对不同改进模型参数进行实验,从实验结果中得到最优的改进灰关联度量化模型.用所建模型对不同数量组的二氧化钛薄膜透过率和厚度进行分析,并与相关性模型和传统灰关联模型进行比较.结果表明:相比于传统灰关联模型,所提出的改进模型在检测准确率上提升5～10个百分点,且更适合于透过率的工艺性能检测.
文献关键词：
二氧化钛薄膜;磁控溅射;透过率;厚度;改进灰关联度量化模型
中图分类号：
作者姓名：
陈功;宗律;张鑫道;潘俊杰;吴峰;王䶮;苏鹏举
作者机构：
常州工学院电气信息工程学院,江苏 常州 213032;常州乐萌压力容器有限公司,江苏 常州 213129
文献出处：
引用格式：
[1]陈功;宗律;张鑫道;潘俊杰;吴峰;王䶮;苏鹏举-.用改进灰关联法研究磁控溅射工艺参数对二氧化钛镀膜的影响)[J].电镀与涂饰,2022(06):437-445
A类：
改进灰关联度量化模型
B类：
灰关联法,磁控溅射,射工,镀膜,射中,透过率,传统工艺,因素法,数间,位置差异,关联模型,主要影响参数,溅射温度,本底,溅射气压,同改,改进模型,二氧化钛薄膜,相关性模型,检测准确率,百分点,工艺性能,性能检测
AB值：
0.242844
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