典型文献
第二十一讲真空卷绕镀膜
文献摘要：
(接2021年第6期88页)
3.4 中频磁控卷绕镀膜
中频磁控卷绕镀膜是利用中频磁控溅射技术来实现卷绕镀膜的方法.中频交流磁控溅射通常采用两个尺寸大小和外形相同的靶并排布置或相对摆放,称为孪生靶.将双极脉冲中频电源的二个输出端连接到二个靶上,如图18所示.
文献关键词：
中图分类号：
作者姓名：
张以忱
作者机构：
东北大学,辽宁 沈阳 110004
文献出处：
引用格式：
[1]张以忱-.第二十一讲真空卷绕镀膜)[J].真空,2022(01):86-88
A类：
B类：
第二十一,卷绕,镀膜,
3,中频磁控溅射,磁控溅射技术,形相,并排,排布,摆放,双极脉冲,中频电源,输出端,接到,所示
AB值：
0.380633
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