典型文献
衬底加热温度对WC-DLC涂层结构和摩擦磨损性能的影响
文献摘要：
采用中频磁控溅射和电弧离子镀复合工艺,在316L不锈钢基体上制备WC掺杂的类金刚石涂层,通过相组织结构分析、硬度测试和摩擦磨损试验,研究了衬底加热温度分别为150℃、250℃、350℃和450℃时对类金刚石薄膜结构和摩擦磨损性能的影响.研究表明:DLC薄膜中的W元素相对含量随衬底温度升高略有增多,最大为3.45％,且掺杂物主要WC1-x和W2C两种晶体相存在,衬底温度升高,晶体结构由WC1-x转变为W2C;150℃时薄膜中sp3C键含量最多,纳米硬度值也最大为7.4 GPa,衬底温度的升高使薄膜结构发生变化,力学性能也变差;干摩擦试验2 N载荷下,摩擦系数随温度的升高先降低后升高,350℃时,摩擦系数为0.2,而磨损率随加热温度逐渐增大,150℃时最小为3.45×10-11m3/N·m,磨损方式为磨粒磨损.
文献关键词：
中频磁控溅射;加热温度;WC-DLC涂层;磨损率
中图分类号：
作者姓名：
贾东旭;刘星;孙刚;马国佳
作者机构：
中国航空制造技术研究院先进表面工程技术航空科技重点实验室 北京100024
文献出处：
引用格式：
[1]贾东旭;刘星;孙刚;马国佳-.衬底加热温度对WC-DLC涂层结构和摩擦磨损性能的影响)[J].真空科学与技术学报,2022(05):364-370
A类：
11m3
B类：
加热温度,DLC,涂层结构,摩擦磨损性能,中频磁控溅射,电弧离子镀,复合工艺,316L,不锈钢基,类金刚石涂层,硬度测试,摩擦磨损试验,类金刚石薄膜,薄膜结构,相对含量,衬底温度,掺杂物,WC1,W2C,晶体结构,sp3C,纳米硬度,硬度值,GPa,干摩擦,摩擦试验,摩擦系数,先降,磨损率,磨粒磨损
AB值：
0.31105
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