典型文献
W-WxN基光热转换薄膜中WOx减反射层的制备及性能研究
文献摘要：
光热转换薄膜在航空、航天和太阳能可再生能源应用等领域具有广阔的应用前景.为了获得具有高效吸热以及低发射率特点的新型光热薄膜材料,利用中频反应磁控溅射方法,在制备W/W-WxN(H)/W-WxN(L)/WxN光热转换薄膜的基础上,引入WOx作为新型光热转换薄膜的减反射层,以期改善光热转换薄膜的吸收性能.讨论和比较了不同样品的光学性能、表面形态、结构信息以及化学成分.结果表明:WOx减反射层包含多种钨的氧化物,呈现非晶态致密结构;新型光热转换薄膜吸收发射比为0.90/0.089,具有高效的光热性能.
文献关键词：
光热薄膜;反应磁控溅射;减反射层;光学性能
中图分类号：
作者姓名：
令晓明;王瑞;王伟奇;聂文豪
作者机构：
兰州交通大学 国家绿色镀膜技术与装备工程技术研究中心,兰州 730070;兰州交通大学 光电技术与智能控制教育部重点实验室,兰州 730070
文献出处：
引用格式：
[1]令晓明;王瑞;王伟奇;聂文豪-.W-WxN基光热转换薄膜中WOx减反射层的制备及性能研究)[J].真空与低温,2022(05):537-541
A类：
WxN,减反射层,光热薄膜
B类：
光热转换,WOx,制备及性能,可再生能源应用,吸热,低发射率,薄膜材料,中频,反应磁控溅射,吸收性能,光学性能,表面形态,结构信息,非晶态,膜吸收,收发,光热性能
AB值：
0.169841
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