典型文献
面向干式电抗器的氟碳纳米结构薄膜性能调控方法研究
文献摘要：
氟碳薄膜具有低介电常数和摩擦系数、高热稳定性和化学惰性、强紫外吸收等优点,作为表面修饰材料,有望提升干式电抗器运行时的环境耐候性和绝缘稳定性.以磁控溅射技术制备氟碳薄膜具有杂质粒子污染少、沉积面积大、反应物成本低、无环境污染等优点.溅射过程中等离子体状态是影响薄膜质量的关键因素,本文讨论了真空室温度和基底温度协同作用对氟碳薄膜化学组分、微结构、沉积速率和微观形貌的影响.结果表明:温度直接作用于溅射组分的产生、输运和沉积过程;温度升高使薄膜表面呈现颗粒-团簇-三维网状结构的形貌演化规律;随溅射温度增加,沉积速率、粗糙度、氟碳比和sp3杂化碳占比增大,薄膜朝类聚四氟乙烯(PTFE-like)的方向发展,有望获得更优异的理化特性.
文献关键词：
氟碳薄膜;磁控溅射;微纳结构;理化特性
中图分类号：
作者姓名：
赵琦;满玉岩;李苏雅;李松原;李琳
作者机构：
国网天津市电力公司电力科学研究院,天津 300384;天津市电力物联网企业重点实验室,天津 300384;国网天津市电力公司,天津300010
文献出处：
引用格式：
[1]赵琦;满玉岩;李苏雅;李松原;李琳-.面向干式电抗器的氟碳纳米结构薄膜性能调控方法研究)[J].真空,2022(06):51-55
A类：
氟碳纳米结构薄膜,氟碳薄膜
B类：
干式电抗器,膜性能,性能调控,调控方法,低介电常数,摩擦系数,高热,热稳定性,惰性,紫外吸收,表面修饰,修饰材料,耐候性,绝缘,磁控溅射技术,杂质粒子,沉积面,反应物,薄膜质量,真空室,基底温度,化学组分,沉积速率,微观形貌,直接作用,输运,沉积过程,面呈,团簇,三维网状结构,形貌演化,演化规律,溅射温度,粗糙度,sp3,类聚,聚四氟乙烯,PTFE,like,理化特性,微纳结构
AB值：
0.365638
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