典型文献
基于双层金属光栅结构的红外辐射调控方法研究
文献摘要：
针对红外焦平面结构的红外促吸收问题,采用基于表面等离激元技术的红外辐射调控方法,利用微纳结构的调制作用和MIM谐振腔结构的波长调制理论,实现了3～5μm和8～14μm波长范围内吸收率的提高.通过在结构中增加两个光栅结构和金属反射层结构,在器件内部形成了多个谐振腔和多个促吸收结构,同时对光栅占空比、周期、厚度和位置进行优化以及对钝化层厚度进行调整,分析不同参数对红外吸收的调整作用.优化后的结构最大吸收率达到99.36％,3～5μm波长范围内的平均吸收率达到79.56％,8～14μm波长范围内的平均吸收率达到75.30％,有效拓展了红外传感器件在中远红外方面的应用前景.
文献关键词：
表面等离激元;双层光栅;红外辐射;MIM谐振腔
中图分类号：
作者姓名：
吴元庆;王婷;李崎嫚;刘春梅
作者机构：
渤海大学 物理科学与技术学院, 辽宁 锦州 121013
文献出处：
引用格式：
[1]吴元庆;王婷;李崎嫚;刘春梅-.基于双层金属光栅结构的红外辐射调控方法研究)[J].电子元件与材料,2022(08):827-833
A类：
双层光栅
B类：
金属光栅,光栅结构,红外辐射,调控方法,红外焦平面,平面结构,表面等离激元,元技术,利用微,微纳结构,MIM,谐振腔,波长调制,调制理论,内吸收,吸收率,金属反射层,占空比,钝化层,同参数,红外吸收,红外传感器,传感器件,中远红外,外方
AB值：
0.379433
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