典型文献
基于氟化钙光学谐振腔的声传感机理研究
文献摘要：
氟化钙回音壁模式谐振腔的光学品质因子实验上已经突破1011,同时能够实现高稳定棱镜耦合集成,因此,在非接触式的超高灵敏度声学传感方面具有重要的应用潜力.然而,对于高杨氏模量氟化钙晶体材料,外界声学扰动的机理尚不明确.基于氟化钙晶体盘型谐振腔结构,对外界声学扰动的影响机理进行研究.当外界声压作用于谐振腔时,从空气密度引起的折射率变化、弹光效应诱导有效折射率改变和谐振腔结构形变三个方面开展了研究.计算结果表明:声压导致的谐振腔结构形变影响最为明显,以实验室器件为参考,达到了1.196×10-10 Pa-1,对应的谐振峰波长响应为4.63×10-7 nm/Pa.谐振腔厚度及支撑结构的优化能够提升一个数量级以上,灵敏度可以较容易突破1 V/Pa.
文献关键词：
回音壁模式谐振腔;氟化钙晶体;高灵敏度;声传感机理;弹光效应;结构形变
中图分类号：
作者姓名：
邢恩博;邢彤;戎佳敏;唐军
作者机构：
中北大学仪器与电子学院,山西太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]邢恩博;邢彤;戎佳敏;唐军-.基于氟化钙光学谐振腔的声传感机理研究)[J].传感器与微系统,2022(07):9-12,28
A类：
声传感机理,回音壁模式谐振腔
B类：
光学谐振腔,品质因子,子实,高稳定,棱镜耦合,合集,非接触式,高灵敏度,声学,杨氏模量,氟化钙晶体,晶体材料,声压,空气密度,折射率变化,弹光效应,有效折射率,结构形变,变影,Pa,谐振峰,支撑结构,数量级
AB值：
0.21598
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