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基于石墨烯压阻效应的宽量程MEMS压力传感器设计
文献摘要：
针对传统悬浮式石墨烯压力传感器存在量程小、体积大、非线性度高等问题,设计了一种膜—岛结构的宽量程石墨烯MEMS压力传感器.使用COMSOL有限元仿真软件和噪声分析法对弹性膜片及石墨烯敏感单元尺寸进行优化设计.结果表明:在0～25 MPa范围,传感器最大应变为0.314％,固有频率高达1.3534 MHz;采用TSV垂直互联技术实现压力传感器芯片的三维集成,芯片封装尺寸仅为2 mm×2 mm.本文设计的石墨烯MEMS压力传感器具有体积小、集成度高、固有频率高、量程宽等特点,对未来高性能石墨烯压力传感器及其他石墨烯力学传感器设计和应用具有指导意义.
文献关键词：
石墨烯;压阻效应;宽量程;微机电系统;压力传感器
中图分类号：
作者姓名：
朱泽华;王俊强;刘小飞;齐越;武晨阳;李孟委
作者机构：
中北大学仪器与电子学院,山西太原030051;中北大学前沿交叉科学研究院,山西太原030051;中北大学南通智能光机电研究院,江苏南通226000
文献出处：
引用格式：
[1]朱泽华;王俊强;刘小飞;齐越;武晨阳;李孟委-.基于石墨烯压阻效应的宽量程MEMS压力传感器设计)[J].传感器与微系统,2022(04):66-69
A类：
B类：
石墨烯,压阻效应,宽量程,MEMS,压力传感器,传感器设计,悬浮式,非线性度,COMSOL,有限元仿真,噪声分析,弹性膜,膜片,单元尺寸,寸进,最大应变,固有频率,MHz,TSV,垂直互联,三维集成,芯片封装,体积小,集成度高,设计和应用,微机电系统
AB值：
0.309071
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