典型文献
基于PSSNa的平面侧栅型氧化物双电层薄膜晶体管
文献摘要：
双电层薄膜晶体管(EDLTs)凭借其低电压、多栅调控以及对神经突触的模拟而备受关注.为了实现一种基于聚电解质的新型平面侧栅结构的EDLTs,采用磁控溅射制备的氧化铟镓锌(IGZO)沟道和氧化铟锌(IZO)电极,试验了三种不同的聚电解质作为栅介质.发现聚苯乙烯磺酸钠(PSSNa)可以作为栅介质材料实现器件的良好工作.由于其低频时高达2.9μF/cm2的双电层电容,使器件的工作电压可以控制在1 V以内,迁移率为0.23 cm2/(V·s),开关比为4.6×103.而壳聚糖和全氟磺酸树脂(Nafion)则是受到了本身离子含量低以及侧栅控制能力弱的制约.进一步研究PSSNa-EDLTs器件的湿度响应表明,其转移特性曲线随着相对湿度的上升表现出有规律的变化,且该规律与离子栅介质中的水分子含量直接相关.本文的结果为后续平面侧栅器件的优化提供了依据,且平面侧栅PSSNa-EDLTs器件在相关传感方面具备潜力.
文献关键词：
双电层薄膜晶体管;聚苯乙烯磺酸钠;平面侧栅;湿度响应
中图分类号：
作者姓名：
黄琬晴;桑旭慧;邵枫
作者机构：
江南大学 物联网工程学院, 江苏 无锡 214000
文献出处：
引用格式：
[1]黄琬晴;桑旭慧;邵枫-.基于PSSNa的平面侧栅型氧化物双电层薄膜晶体管)[J].电子元件与材料,2022(03):243-249
A类：
PSSNa,平面侧栅,双电层薄膜晶体管,EDLTs,IZO
B类：
低电压,神经突触,聚电解质,磁控溅射,氧化铟,IGZO,沟道,栅介质,聚苯乙烯磺酸钠,介质材料,双电层电容,工作电压,迁移率,开关比,壳聚糖,全氟磺酸树脂,Nafion,离子含量,栅控,控制能力,湿度响应,转移特性曲线,相对湿度,水分子
AB值：
0.22869
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