典型文献
离子能量筛选器仿真设计
文献摘要：
离子源作为一种离子束发射装置,常用于光学薄膜的制备中,但离子束中包含各种能量的离子,在光学薄膜制备过程中严重影响着薄膜成型后的微观结构和性能.针对目前国内外离子源普遍存在输出能谱过宽的缺点,以电磁场理论为基础,并对各能级的离子运动轨迹进行了仿真分析,设计了一种离子能量筛选器,仿真结果表明,经过筛选器筛选后能有效剔除过高和过低能量的离子,偏离中心离子能量负100eV的筛选率,已达到82.24％,在光学薄膜制备领域中具有良好的应用前景.
文献关键词：
离子源;离子能量;筛选器;离子束辅助沉积;有限元仿真
中图分类号：
作者姓名：
张骏林;苏俊宏;郭亮;李建超;万文博
作者机构：
西安工业大学光电工程学院,陕西西安710021;北方光电集团有限公司,陕西西安710065
文献出处：
引用格式：
[1]张骏林;苏俊宏;郭亮;李建超;万文博-.离子能量筛选器仿真设计)[J].光学与光电技术,2022(01):108-114
A类：
100eV
B类：
离子能量,筛选器,仿真设计,离子源,束发,发射装置,光学薄膜,薄膜制备,制备过程,结构和性能,电磁场理论,能级,离子运动轨迹,过筛,除过,低能量,离子束辅助沉积,有限元仿真
AB值：
0.311169
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