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深紫外大口径非球面反射膜的均匀性研究
文献摘要：
膜厚均匀性作为高精度光学薄膜的重要参数,对光学薄膜的性能起到至关重要的作用,特别是大尺寸高精度反射膜,对膜厚均匀性的要求极高.本文通过研究蒸发源的发射特性与膜厚分布,结合Mathcad软件建立精准数学及物理模型,编写自动程序,模拟修正挡板形状,极大地提高了薄膜制备均匀性修正的效率与准确性.通过该方法,在公自转行星蒸发沉积设备上制备了直径为320 mm的非球面深紫外反射镜,在紫外(240～300 nm)波段平均反射率大于97.5％,均匀性优于0.5％.本研究对大口径非球面薄膜的均匀性修正提供了理论基础与技术支撑.
文献关键词：
薄膜;均匀性;修正挡板;大口径;非球面
中图分类号：
作者姓名：
潘永刚;林兆文;王奔;付秀华
作者机构：
长春理工大学中山研究院,广东中山528437;中山吉联光电科技有限公司,广东中山528437;长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022
文献出处：
引用格式：
[1]潘永刚;林兆文;王奔;付秀华-.深紫外大口径非球面反射膜的均匀性研究)[J].中国光学,2022(04):740-746
A类：
修正挡板
B类：
深紫外,大口径,非球面反射,反射膜,膜厚均匀性,光学薄膜,重要参数,大尺寸,发源,Mathcad,物理模型,板形,极大地提高,薄膜制备,自转,转行,行星,蒸发沉积,外反射,反射镜,波段,反射率,面薄
AB值：
0.326994
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