典型文献
基于Yb∶LCB晶体产生590 nm激光的谐振腔镀膜研究
文献摘要：
自倍频激光晶体同时具有激光及非线性光学性质，可在单个晶体器件中完成激光和倍频过程。该类晶体制备的激光器具备结构简单、体积小、稳定性好等优点，可满足现代化信息社会对高集成光电器件的要求。晶体镀膜是激光晶体得以应用的重要环节。依据Yb∶La2CaB10O19(Yb∶LCB)晶体特性、技术参数及光学薄膜设计理论，选择Ta2O5和SiO2分别作为高、低折射率材料，利用OptiLayer和Zygo干涉仪表征薄膜的光学性能和表面粗糙度，分析了离子源偏压对折射率和表面粗糙度的影响规律，并确定了离子源参数。采用光学监控和石英晶控相结合的方式，精准控制各膜层厚度，降低薄膜厚度的监控误差。测试结果表明，制备的Yb∶LCB晶体器件成功应用于590 nm激光输出系统。
文献关键词：
材料;薄膜;自倍频晶体;离子辅助沉积;光学监控;materials;thin films;self-frequency doubling crystal;ion assisted deposition;optical monitoring
中图分类号：
作者姓名：
秦方正;熊仕富;祝晗;胡章贵
作者机构：
天津理工大学功能晶体研究院天津市功能晶体材料重点实验室，天津 300384
文献出处：
引用格式：
[1]秦方正;熊仕富;祝晗;胡章贵-.基于Yb∶LCB晶体产生590 nm激光的谐振腔镀膜研究)[J].中国激光,2022(11):1103002
A类：
La2CaB10O19,OptiLayer,自倍频晶体
B类：
Yb,LCB,谐振腔,镀膜,激光晶体,非线性光学性质,激光器,结构简单,体积小,信息社会,高集成,光电器件,晶体特性,技术参数,光学薄膜,设计理论,Ta2O5,SiO2,折射率,Zygo,干涉仪,仪表,光学性能,表面粗糙度,离子源,偏压,对折,光学监控,石英,精准控制,膜层厚度,薄膜厚度,成功应用,激光输出,离子辅助沉积,materials,thin,films,self,frequency,doubling,crystal,assisted,deposition,optical,monitoring
AB值：
0.427763
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