典型文献
1.3~2.7μm带通滤光膜研制与分析
文献摘要:
光学薄膜技术广泛应用于几乎所有的光学系统、光电系统和光电仪器.新型探测器的发展对1~3μm近红外波段附近的能量响应提出了滤波的要求.从电磁场理论和麦克斯韦方程出发,介绍了光学薄膜的设计理论,论述了带通滤光膜的设计方法.基于Optilayer软件,以氧化铝为基底,设计了 一种工作波段为1.3~2.7μm的近红外带通滤光膜.考虑到镀膜材料的匹配性问题,选择硫化锌和氟化镱作为高、低折射率材料.采用长波通与短波通相结合的设计方法,并用Optilayer软件完成了膜系的计算和优化.在氧化铝基底双面镀制膜,用电子束蒸发和离子束辅助沉积的制备工艺完成了膜系镀制.用分光光度计对制备样品进行了透过率测试.结果表明,在1.3~2.7μm设计波段,样品的平均透过率大于95%,符合带通滤光膜的设计要求.
文献关键词:
近红外;带通滤光膜;透过率;薄膜制备;氧化铝
中图分类号:
作者姓名:
岳威;王栩榕;苑利纲;韩永昶;张阔;刘连泽;张振坤
作者机构:
固体激光技术国家级重点实验室,北京100015;华北光电技术研究所,北京 100015;中国石油大学,山东青岛266580
文献出处:
引用格式:
[1]岳威;王栩榕;苑利纲;韩永昶;张阔;刘连泽;张振坤-.1.3~2.7μm带通滤光膜研制与分析)[J].红外,2022(08):1-7
A类:
B类:
带通滤光膜,光学薄膜,膜技术,光学系统,光电系统,光电仪,探测器,近红外波段,能量响应,电磁场理论,麦克斯韦方程,设计理论,Optilayer,氧化铝,外带,镀膜,膜材料,匹配性,硫化锌,氟化,折射率,长波,短波,膜系,双面,电子束蒸发,离子束辅助沉积,制备工艺,分光光度计,备样,透过率,设计波,薄膜制备
AB值:
0.337317
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