典型文献
激光薄膜吸收损耗控制研究进展
文献摘要：
激光技术的不断发展对激光薄膜的光学性能、激光损伤阈值、机械性能等提出了越来越高的要求.具有低吸收损耗的激光薄膜在强激光、精密测量等领域有十分重要的应用.从电子束蒸发和离子束溅射沉积工艺、薄膜材料两个方面,对激光薄膜在吸收损耗控制方面的研究进展进行综述,详细介绍了制备过程中多个环节对薄膜吸收损耗的调控方法,以及单一材料和混合物薄膜的吸收机理、吸收调控方法.
文献关键词：
薄膜;吸收损耗;混合材料;电子束蒸发;离子束溅射
中图分类号：
作者姓名：
温家慧;朱美萍;孙建;李静平;邵建达
作者机构：
中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室,上海201800;中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京100049;国科大杭州高等研究院,浙江杭州310024
文献出处：
引用格式：
[1]温家慧;朱美萍;孙建;李静平;邵建达-.激光薄膜吸收损耗控制研究进展)[J].光学学报,2022(07):1-14
A类：
B类：
激光薄膜,膜吸收,吸收损耗,损耗控制,激光技术,光学性能,激光损伤阈值,机械性能,低吸收,强激光,精密测量,电子束蒸发,离子束溅射,溅射沉积,薄膜材料,控制方面,制备过程,调控方法,单一材料,混合物,吸收机理,混合材料
AB值：
0.360152
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