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绿光波段60pm超窄带滤光片的研制
文献摘要：
波长为532 nm的绿色激光在大气层中有较强的穿透能力,可用于自由空间光通信和激光三维测绘,为了抑制背景光的干扰,需要半功率带宽小于100 pm的光谱滤波器.因此,设计并研制了基于光学干涉薄膜的超窄带滤光片.将五氧化二钽(Ta2O5)和二氧化硅(SiO2)分别作为高低折射率膜层材料,将熔石英作为基片,采用双离子束溅射沉积方法制备出所设计的光学薄膜.利用可调谐激光器和功率计测量滤光片的透射光谱,其半功率带宽为(60±2)pm,透过率达到62.6％.
文献关键词：
光学薄膜;薄膜滤光片;皮米带宽;绿光波段;空间激光测绘
中图分类号：
作者姓名：
王凯旋;陈刚;刘定权;马冲;张秋玉
作者机构：
中国科学院 上海技术物理研究所,上海 200083;上海科技大学 物质学院,上海 201210;中国科学院大学,北京 100049
文献出处：
引用格式：
[1]王凯旋;陈刚;刘定权;马冲;张秋玉-.绿光波段60pm超窄带滤光片的研制)[J].中国光学,2022(01):119-131
A类：
60pm,薄膜滤光片,皮米带宽,空间激光测绘
B类：
绿光波段,窄带滤光片,大气层,自由空间光通信,三维测绘,背景光,滤波器,光学干涉,五氧化二钽,Ta2O5,二氧化硅,SiO2,折射率,膜层,熔石英,基片,双离子束溅射,溅射沉积,光学薄膜,可调谐激光器,计测,透射光谱,透过率
AB值：
0.2927
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