典型文献
用于离子注入机的高压放大器的研制
文献摘要：
针对我国用于离子注入机的高压放大器输出峰值电压一般处于±10 kV的现状,研制了一种双极高速高压功率放大器,输出最大峰值电压为±20 kV,输出最大功率为400 W.为了提高耐压能力,功率管以双极型晶体管为主体,由MOSFET和IGBT串联,采用AB类工作模式通过推挽放大器的上、下两个功率管实现放大功能.经过仿真实验,实现了输出电压放大,同时实现了信号低噪声、响应频带宽、压摆率高、输出响应快等特性,对提高我国半导体设备水平以及国产化程度具有重要意义.
文献关键词：
离子注入机;AB类放大器;高压放大器
中图分类号：
作者姓名：
金则军
作者机构：
北京烁科中科信电子装备有限公司长沙分公司,湖南 长沙 410000
文献出处：
引用格式：
[1]金则军-.用于离子注入机的高压放大器的研制)[J].电子工业专用设备,2022(05):18-23
A类：
B类：
离子注入机,高压放大器,国用,峰值电压,kV,高速高压,功率放大器,最大功率,耐压能力,功率管,双极型晶体管,MOSFET,IGBT,AB,推挽,输出电压,低噪声,频带,半导体设备,国产化
AB值：
0.281323
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
