典型文献
单光场时栅位移传感器散射角误差分析及优化
文献摘要：
光场式时栅传感器采用光强调制的方式解决光栅对制造工艺的依赖,但提高了对光源出光特性的要求.通过对测量原理的分析,建立了单光源散射二维误差模型,分析了光源散射对电行波信号幅值和相位的影响,并通过仿真分析得出光源散射对测量的影响主要为一次和二次谐波误差成分,与未优化光源测量的主要谐波误差成分相吻合.提出一种光线空间约束的优化方法,采用切面迭代法设计准直透镜减小光源发散角,仿真结果表明所设计的光源发光半角从±60°降低到±10°.搭建实验平台进行验证,结果表明:在栅距0.2 mm的单周期测量范围内,与未优化光源对比,添加准直透镜的测量误差从±5.6μm减少到±1μm,其中一次、二次谐波误差成分得到明显抑制,100 mm范围内的长周期测量误差为±8μm.实验结果验证了散射角误差模型的正确性和准直透镜抑制效果的可行性.
文献关键词：
单光场;时栅;散射角误差;光场约束;准直透镜
中图分类号：
作者姓名：
付敏;乔俊红;朱革;冷从阳;魏晓波
作者机构：
重庆理工大学机械工程学院,重庆 400054;重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室,重庆 400054
文献出处：
引用格式：
[1]付敏;乔俊红;朱革;冷从阳;魏晓波-.单光场时栅位移传感器散射角误差分析及优化)[J].仪表技术与传感器,2022(11):1-6,11
A类：
单光场,散射角误差,光场约束
B类：
时栅位移传感器,误差分析,时栅传感器,光栅对,制造工艺,光特性,测量原理,单光源,误差模型,行波信号,二次谐波,相吻合,光线,空间约束,切面,迭代法,准直透镜,发散角,半角,实验平台,测量范围,测量误差,分得,长周期,抑制效果
AB值：
0.258398
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