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碳化硅材料装备技术现状
文献摘要：
碳化硅材料面临着巨大的市场需求,该材料的生产装备却仍然严重依赖进口,国产程度低下,从原材料生产到衬底加工涉及到的材料装备的角度出发,分类介绍了各类装备技术现状.
文献关键词：
碳化硅;装备;第三代半导体
中图分类号：
作者姓名：
周哲;刘佳甲
作者机构：
中电科电子装备集团有限公司,北京 100070
文献出处：
引用格式：
[1]周哲;刘佳甲-.碳化硅材料装备技术现状)[J].电子工业专用设备,2022(02):14-16,55
A类：
B类：
碳化硅材料,装备技术,技术现状,料面,生产装备,产程,衬底,第三代半导体
AB值：
0.297037
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