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SiC高温快速退火加热系统设计与研究
文献摘要：
SiC芯片注入激活设备具有高温特点,传统的加热方式通常采用感应式和电阻式加热,采用电阻加热方式具有温度精度高、能耗小等优势.根据SiC高温快速退火设备的特点,深入结合工艺需求,通过采用正向设计手段,对功率计算、材料选型、加热器结构设计、电学参数分配,以及温控系统设计方面进行研究.
文献关键词：
碳化硅;快速退火设备;加热系统;正向设计
中图分类号：
作者姓名：
杨金;何永平;王学仕
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南 长沙 410111
文献出处：
引用格式：
[1]杨金;何永平;王学仕-.SiC高温快速退火加热系统设计与研究)[J].电子工业专用设备,2022(01):12-14,35
A类：
快速退火设备
B类：
SiC,加热系统,设计与研究,温特,加热方式,感应式,电阻式,电阻加热,有温度,正向设计,功率计算,材料选型,加热器,电学参数,温控系统,碳化硅
AB值：
0.38587
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