典型文献
高分子辅助沉积法制备LaNiO3外延导电薄膜
文献摘要：
近年来LaNiO3(LNO)作为铁电超晶格、超导异质结和催化剂材料引起了广泛关注.本研究采用简便、低成本的高分子辅助沉积法(Polymer Assisted Deposition,PAD),在(001)取向的SrTiO3(STO)单晶衬底上制备了导电性能优异的LNO外延薄膜,并对其进行各种结构和电学表征.摇摆曲线半高宽为0.38°,表明LNO薄膜结晶度良好.高分辨XRD的φ扫描进一步证实LNO薄膜在STO衬底上异质外延生长.原位变温XRD测试进一步表征了LNO薄膜的外延生长过程.结果表明,聚合物分解之后金属阳离子在单晶基体上有序释放并外延结晶.XPS结果表明,采用PAD制备的LaNiO3薄膜不存在氧空位.薄膜表面光滑,粗糙度为0.67 nm.在10～300 K温度区间内的变温电阻率表明LNO薄膜具有良好的导电性能.上述结果表明:PAD制备的LaNiO3薄膜具有较好的综合性能,PAD在制备外延功能薄膜材料方面具有很大的潜力.
文献关键词：
LaNiO3;导电薄膜;高分子辅助沉积法;外延
中图分类号：
作者姓名：
杨柱;郭少波;蔡恒辉;董显林;王根水
作者机构：
中国科学院 上海硅酸盐研究所,无机功能材料与器件实验室,上海 200050;中国科学院大学 材料科学与光电子工程中心,北京 100049;中国科学院 上海硅酸盐研究所,高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海200050
文献出处：
引用格式：
[1]杨柱;郭少波;蔡恒辉;董显林;王根水-.高分子辅助沉积法制备LaNiO3外延导电薄膜)[J].无机材料学报,2022(05):561-566
A类：
高分子辅助沉积法
B类：
LaNiO3,导电薄膜,LNO,铁电,超晶格,超导,异质结,Polymer,Assisted,Deposition,PAD,SrTiO3,STO,单晶衬底,导电性能,外延薄膜,电学,摇摆曲线,半高宽,膜结晶,结晶度,异质外延生长,变温,生长过程,后金,金属阳离子,XPS,氧空位,表面光,粗糙度,温度区间,电阻率,功能薄膜,薄膜材料
AB值：
0.330232
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