典型文献
基于阳极键合的环形静电谐振器的制作与测试
文献摘要：
设计了一种基于阳极键合的环形谐振器的制作方法,用以简化环形静电陀螺谐振器的制作工艺.采用(100)及(111)顶层硅的SOI,分别通过阳极键合工艺制作了硅基环形陀螺谐振器.分析了不同晶向下频率裂解的产生及对陀螺谐振的影响,同时通过仿真分析了晶向对双波腹与三波腹振型的影响程度.利用网络分析仪在真空腔内对器件进行扫频测试实验,得到了两种器件的幅频响应特性,讨论了双波腹与三波腹工作模态与晶向的关系.双波腹相对于三波腹更易受加工条件的影响,而相对的振动幅值更大.同时设计静电调谐的方法,解决了(111)晶向硅基双波腹存在的频率裂解较大的问题.
文献关键词：
环形谐振器;阳极键合;静电调谐
中图分类号：
作者姓名：
王俊铎;沈文江
作者机构：
中国科学技术大学纳米技术与纳米仿生学院,合肥230026;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州215123
文献出处：
引用格式：
[1]王俊铎;沈文江-.基于阳极键合的环形静电谐振器的制作与测试)[J].微电子学,2022(03):484-491
A类：
阳极键合,静电调谐
B类：
环形谐振器,制作方法,陀螺,制作工艺,SOI,工艺制作,硅基,晶向,频率裂解,波腹,振型,利用网络,网络分析仪,空腔,扫频,测试实验,幅频响应,响应特性,工作模态,加工条件,振动幅值
AB值：
0.243234
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