典型文献
基于亚波长光栅结构的折射率传感研究进展
文献摘要：
新一代片上传感系统提出了微型化、集成化、低成本等发展需求,硅基集成波导器件适应其发展趋势,其中亚波长光栅结构因独特的模场分布特性在折射率传感领域备受青睐.文章首先对亚波长光栅波导的工作原理进行了介绍,阐述其在折射率传感领域的优势,然后按器件结构分类梳理了亚波长光栅结构折射率传感的最新研究进展,并分析和总结了不同器件结构的优缺点,最后展望了基于亚波长光栅结构的折射率传感未来的发展方向.
文献关键词：
硅基;亚波长光栅;微腔;微环谐振器;折射率传感
中图分类号：
作者姓名：
徐亚萌;付晨阳;孙士博
作者机构：
长春理工大学物理学院,长春130022
文献出处：
引用格式：
[1]徐亚萌;付晨阳;孙士博-.基于亚波长光栅结构的折射率传感研究进展)[J].半导体光电,2022(02):254-260
A类：
B类：
亚波长光栅,光栅结构,折射率传感,传感系统,微型化,集成化,硅基集成,集成波导,波导器件,中亚,模场,场分布特性,器件结构,结构分类,最新研究进展,微腔,微环谐振器
AB值：
0.251171
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