典型文献
Silvaco TCAD仿真在《微电子工艺》实验教学中的应用
文献摘要：
为支撑微电子工艺实验课程建设,采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件,加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工艺的直观理解,搭建了从网格建设、工艺仿真、PN结分析到NMOS器件全工艺流程设计的系统化仿真实例,让学生在熟悉半导体器件基本结构、载流子参数等性能的同时,深刻理解微电子器件的工艺过程.软件仿真直观的图形展现,既可加深学生课程知识理解,又能提升实践能力,为应用型人才的培养提供坚实基础.
文献关键词：
微电子工艺;集成电路;实验课程建设;Silvaco TCAD
中图分类号：
作者姓名：
于文娟;董可秀;王炳庭;周昌海;付翔;胡毅
作者机构：
滁州学院,安徽滁州239000
文献出处：
引用格式：
[1]于文娟;董可秀;王炳庭;周昌海;付翔;胡毅-.Silvaco TCAD仿真在《微电子工艺》实验教学中的应用)[J].廊坊师范学院学报（自然科学版）,2022(04):118-121,128
A类：
B类：
Silvaco,TCAD,微电子工艺,实验教学,工艺实验,实验课程建设,半导体工艺,器件仿真,加强学生,离子注入,光刻,直观理解,工艺仿真,PN,NMOS,工艺流程设计,半导体器件,基本结构,载流子,深刻理解,微电子器件,工艺过程,软件仿真,真直,深学,课程知识,知识理解,应用型人才,集成电路
AB值：
0.381314
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