典型文献
PECVD薄膜沉积工艺虚拟仿真实验设计与研究
文献摘要：
虚拟仿真实验教学已成为微电子工艺实训实践能力培养的重要手段,弥补和完善了传统教学方式的缺点和不足.文章介绍了 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)薄膜沉积工艺在聚光多结光伏电池芯片制备中应用的虚拟仿真实验项目,将实验教学融合在多结光伏电池芯片制备应用场景下,以典型的PECVD法沉积电池增透膜为例,设计实验项目.采用虚实结合的实验教学方法,解决了真实实验教学中存在的高安全风险、设备昂贵、材料成本高等问题.通过共享服务平台"ilab-x实验空间"对外免费开放,学生参与PECVD薄膜沉积全工艺流程,对培养和提高学生的创新及实践能力具有很好的作用.
文献关键词：
虚拟仿真;PECVD薄膜沉积;光伏电池芯片;增透膜
中图分类号：
作者姓名：
李蒙蒙;姚育成;吕辉;李劲;吕清花
作者机构：
湖北工业大学理学院芯片产业学院 湖北 武汉 430068
文献出处：
引用格式：
[1]李蒙蒙;姚育成;吕辉;李劲;吕清花-.PECVD薄膜沉积工艺虚拟仿真实验设计与研究)[J].科教导刊,2022(24):59-62
A类：
光伏电池芯片,ilab
B类：
PECVD,薄膜沉积,实验设计,设计与研究,虚拟仿真实验教学,微电子工艺,实训实践,实践能力培养,传统教学方式,缺点和不足,Plasma,Enhanced,Chemical,Vapor,Deposition,聚光,多结,实验项目,教学融合,增透膜,设计实验,虚实结合,实验教学方法,真实实验,高安全,昂贵,材料成本,共享服务平台,实验空间,对外免费开放,学生参与
AB值：
0.31883
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