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多层SAW器件叉指换能器错层布局研究
文献摘要：
利用COMSOL软件建立了采用平层叉指换能器(IDT)布局及错层IDT布局的两种多层声表面波(SAW)器件模型,通过有限元法分别计算了两种模型在不同的薄膜层厚度、电极间距条件下的特征频率、机电耦合系数以及导纳比,并将这些结果进行了对比分析.结果表明:采用错层IDT布局的多层SAW器件在保证器件性能的条件下,结构尺寸可以缩小一倍,同时也降低了继续提高多层SAW器件特征频率的难度.
文献关键词：
声表面波;多层结构;叉指换能器;错层布局
中图分类号：
作者姓名：
李志鹏;孟旭;王博男;张超
作者机构：
东北林业大学交通学院,黑龙江哈尔滨150040
文献出处：
引用格式：
[1]李志鹏;孟旭;王博男;张超-.多层SAW器件叉指换能器错层布局研究)[J].传感器与微系统,2022(02):14-16,20
A类：
错层布局
B类：
SAW,叉指换能器,布局研究,COMSOL,IDT,声表面波,器件模型,有限元法,膜层厚度,电极间距,特征频率,机电耦合系数,导纳,纳比,器件性能,结构尺寸,一倍,高多层,多层结构
AB值：
0.337528
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