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基于ZnO/PZT结构的单端声表面波器件研究
文献摘要：
本文设计了一个基于ZnO/PZT结构的声表面波器件,使用COMSOL Multiphysics软件对其进行有限元仿真,仿真发现器件的反谐振频率为133.75MHz,谐振频率为133.66MHz.根据仿真结果制备了相应的SAW器件,实验所用ZnO薄膜与PZT薄膜采用射频磁控溅射方法沉积,测试其谐振频率为127.0MHz.
文献关键词：
氧化锌/锆钛酸铅;声表面波;COMSOL仿真
中图分类号：
作者姓名：
桂晨;韦敏
作者机构：
电子科技大学,四川成都,611731
文献出处：
引用格式：
[1]桂晨;韦敏-.基于ZnO/PZT结构的单端声表面波器件研究)[J].电子测试,2022(20):96-98
A类：
75MHz,66MHz,0MHz
B类：
ZnO,PZT,单端,声表面波器件,COMSOL,Multiphysics,有限元仿真,反谐振,谐振频率,SAW,实验所,射频磁控溅射,氧化锌,锆钛酸铅
AB值：
0.287934
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