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跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究
文献摘要：
利用COMSOL有限元软件建立了复合膜声表面波(SAW)器件结构,并将通常使用的平面叉指换能器(IDT)更新为跨层布局形式.通过COMSOL软件对新结构进行了模态分析与频率响应分析,计算了机电耦合系数,研究了异性电极间距与同性电极间距的改变对复合膜SAW器件产生的影响.结果表明:跨层IDT布局形式,可以在现有制备条件与水平不变的前提下,大幅度降低器件尺寸,提高特征频率.
文献关键词：
声表面波;复合膜结构;叉指换能器;跨层布局;COMSOL软件
中图分类号：
作者姓名：
李志鹏;孟旭;王博男;张超
作者机构：
东北林业大学交通学院,黑龙江哈尔滨150040
文献出处：
引用格式：
[1]李志鹏;孟旭;王博男;张超-.跨层叉指换能器对复合膜SAW器件影响的研究)[J].传感器与微系统,2022(03):32-35
A类：
跨层布局
B类：
叉指换能器,SAW,COMSOL,声表面波,器件结构,IDT,布局形式,新结构,模态分析,频率响应分析,机电耦合系数,电极间距,制备条件,大幅度降低,特征频率,复合膜结构
AB值：
0.276617
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