典型文献
L波段双层交指线性相位MEMS滤波器的设计
文献摘要：
针对射频MEMS滤波器的带外抑制能力较差和带内群延时不平坦的问题,设计了一种窄带宽、低插损、高选择性的L波段射频MEMS线性相位滤波器.选取高介电常数的衬底材料实现窄带传输,采用双层交指结构的谐振器实现线性相位,减小了电路体积.利用HFSS软件对滤波器的性能进行优化.结果表明,该滤波器的中心频率为1.46 GHz,带内插入损耗＜1.97 dB,带内群延时波动＜2 ns,在中心频率左右1 GHz处的带外抑制＞70 dB.整体电路尺寸为10 mm×7.2 mm×0.62 mm.
文献关键词：
滤波器;MEMS;群延时;带外抑制
中图分类号：
作者姓名：
范丽娜;吴倩楠;张世义;侯文;李孟委
作者机构：
中北大学信息与通信工程学院,太原030051;中北大学南通智能光机电研究院,江苏南通226000;中北大学前沿交叉科学研究院,太原030051;中北大学微系统集成研究中心,太原030051;中北大学理学院,太原030051;中北大学仪器与电子学院,太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]范丽娜;吴倩楠;张世义;侯文;李孟委-.L波段双层交指线性相位MEMS滤波器的设计)[J].微电子学,2022(01):98-103
A类：
B类：
波段,交指,线性相位,MEMS,滤波器,对射,带外抑制,抑制能力,群延时,平坦,窄带宽,低插损,高选择性,相位滤波,介电常数,衬底,谐振器,HFSS,中心频率,GHz,内插,插入损耗,dB,ns
AB值：
0.392893
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