典型文献
基于正交的声表面波应变传感器的温度应变解耦方法
文献摘要：
针对应变测量的温度干扰问题,文中设计了2个声表面波应变传感器,2个传感器的频率分别为240.856 MHz和239.22 MHz.2个传感器粘贴在悬臂梁上靠近固定端的2个位置,一个沿着声表面的传播方向与应变方向一致的方向粘贴,另一个沿着传播方向与应变垂直的方向粘贴.然后对传感器的温度应变响应进行测试,测得了传感器芯片在25～200℃下的频率响应.结果表明一个谐振器的共振频率随着应变的增加而减小,频率与应变为线性关系,室温下灵敏度为192.5 Hz/με.另一个谐振器的共振频率随着应变的增加而增加,频率与应变为线性关系,室温下灵敏度为128.7 Hz/με.然后提取出不同温度下的应变灵敏度,2个传感器的灵敏度随着温度的变化,先增加后减小.然后将2个传感器频率做差,通过计算实现了应变精确值的提取.
文献关键词：
声表面波;应变传感器;解耦;LiNbO3;应变灵敏度
中图分类号：
作者姓名：
李向荣;秦丽;谭秋林
作者机构：
中北大学,省部共建动态测试技术国家重点实验室,山西太原 030051;中北大学理学院,山西太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]李向荣;秦丽;谭秋林-.基于正交的声表面波应变传感器的温度应变解耦方法)[J].仪表技术与传感器,2022(09):122-126
A类：
B类：
声表面波,应变传感器,温度应变,解耦方法,应变测量,温度干扰,干扰问题,中设计,MHz,粘贴,悬臂梁,梁上,个位,传播方向,应变响应,频率响应,谐振器,共振频率,应变灵敏度,LiNbO3
AB值：
0.276728
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