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基于SH⁃SAW谐振器的无线温度传感器研究
文献摘要：
基于128°YX铌酸锂压电衬底设计制作了窄带、高Q值的水平剪切声表面波(SH?SAW)谐振器,研究了其温度特性,并基于该谐振器制作了无线温度传感器.研究结果表明,该SH?SAW谐振器在常温至250℃内保持良好的谐振性能,频率温度系数为-24.33 kHz/℃.基于该SH?SAW的无线温度传感器在常温至250℃温度范围内实现了温度的准确无线测试,测温误差为0.93％,且具有良好的重复性.
文献关键词：
水平剪切声表面波;谐振器;铌酸锂;无线温度传感器
中图分类号：
作者姓名：
房赛;彭斌;杨云涛;何鹏;朱加良
作者机构：
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都 610054;中国核动力研究设计院,四川成都 610213
文献出处：
引用格式：
[1]房赛;彭斌;杨云涛;何鹏;朱加良-.基于SH⁃SAW谐振器的无线温度传感器研究)[J].仪表技术与传感器,2022(08):11-14,24
A类：
水平剪切声表面波
B类：
SH,SAW,谐振器,无线温度传感器,YX,铌酸锂,压电,衬底,设计制作,窄带,温度特性,保持良好,频率温度系数,kHz,确无,测温误差
AB值：
0.254255
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