典型文献
双加热电阻柔性MEMS流速传感器的测控电路
文献摘要：
为扩大流速传感器的测量量程和应用范围,设计并制造了一种双加热电阻柔性热膜式微电子机械系统(MEMS)流速传感器,它是由一对加热电阻(也可作为测温电阻)、一对测温电阻和一对环境测温补偿电阻组成.主要对该柔性MEMS流速传感器的测控电路进行仿真设计和风速测试实验研究.基于热温差和热损失的工作原理,使用Matlab/Simulink软件对热敏电阻进行数学建模,并使用Cadence/Pspice软件进行电路仿真分析,设计出了可适用于高速(10～30m/s)、中速(1～10m/s)和低速(0～1 m/s)的测控电路系统.风速测试实验实现了 0～30 m/s的风速测量,结果表明,传感器的灵敏度最高为32.1 mV/(m/s),在低风速段灵敏度也可达到5.5 mV/(m/s).该传感器可贴于曲面应用,测量范围广,环境温度适应力强.
文献关键词：
柔性微电子机械系统(MEMS);流速传感器;柔性热膜;双加热电阻;测控电路
中图分类号：
作者姓名：
涂云婷;崔峰;赵韦良
作者机构：
微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240;上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海200240
文献出处：
引用格式：
[1]涂云婷;崔峰;赵韦良-.双加热电阻柔性MEMS流速传感器的测控电路)[J].微纳电子技术,2022(04):341-347
A类：
双加热电阻,柔性热膜
B类：
MEMS,流速传感器,测控电路,测量量程,膜式,式微,微电子机械系统,测温补偿,仿真设计,测试实验,热损失,Matlab,Simulink,热敏电阻,数学建模,Cadence,Pspice,电路仿真,30m,中速,10m,低速,电路系统,风速测量,mV,低风速,风速段,测量范围,温度适应,适应力
AB值：
0.28336
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