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微悬臂梁传感系统在CNT微热量检测中的应用
文献摘要：
针对碳纳米管(CNT)微热量检测不易的问题,采用了一种基于微悬臂梁传感器的CNT微热量检测系统进行检测.通过光杠杆检测法测量微悬臂梁弯曲量,从而实现微悬臂梁对CNT的微热量检测,研究了CNT光热转换散发热量对微悬臂梁挠度的影响.用最小二乘法拟合出CNT薄膜温度变化与相应微悬臂梁偏移量关系.结果 显示,温度变化与微悬臂梁偏移量呈线性关系,与理论分析符合,且面积约0.07 mm2的样品薄膜拟合曲线的线性相关系数为0.9932.通过对温度检测的重复性实验,验证了系统具有较高的稳定性;将温度测量值与实验系统的拟合值进行对比,结果基本一致,验证了系统的可靠性.
文献关键词：
微悬臂梁;碳纳米管(CNT);传感器;温度检测;光热光谱
中图分类号：
作者姓名：
滕艳华;王启明;周宁鸿;冯贺;刘松;薛长国
作者机构：
安徽理工大学材料科学与工程学院,安徽淮南232001
文献出处：
引用格式：
[1]滕艳华;王启明;周宁鸿;冯贺;刘松;薛长国-.微悬臂梁传感系统在CNT微热量检测中的应用)[J].微纳电子技术,2022(02):175-179
A类：
光热光谱
B类：
微悬臂梁,传感系统,CNT,碳纳米管,光杠杆,检测法,悬臂梁弯曲,光热转换,发热量,挠度,最小二乘法拟合,合出,偏移量,mm2,拟合曲线,线性相关系数,温度检测,温度测量,测量值,实验系统,拟合值
AB值：
0.211575
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