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偏振相移点衍射干涉波像差检测技术研究
文献摘要：
面向光学系统及光学车间现场波像差检测、长焦成像系统波像差检测等复杂易受外部干扰的应用场景,本团队提出了一种基于偏振同步相移的双光纤点衍射干涉技术,用于光学成像系统波像差的实时动态检测.该技术采用短相干长度光源与单模保偏光纤产生两个点源,这两个点源可以输出正交线偏振光;在光路中加入四分之一波片,采用微偏振阵列相机实现了基于单幅干涉图的空间同步相移.通过衰减器调节两束光的光强比,可以实现干涉条纹对比度的调节.搭建了基于该技术的实验装置,并采用该装置对5X透射式微缩投影物镜波像差进行了测量,测得其波像差均方根(RMS)为10.49 nm.在低频振动噪声环境下进行了32次重复性测量,重复测量精度为0.17 nm,实现了待测投影物镜波像差的高精度实时动态检测.实验结果验证了所提检测技术的有效性.
文献关键词：
测量;点衍射;偏振相移;波像差检测;干涉测量
中图分类号：
作者姓名：
冯鹏;李中梁;王向朝;步扬;卢云君;郭福东;李思坤
作者机构：
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800;中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
文献出处：
引用格式：
[1]冯鹏;李中梁;王向朝;步扬;卢云君;郭福东;李思坤-.偏振相移点衍射干涉波像差检测技术研究)[J].中国激光,2022(21):84-91
A类：
偏振相移,波像差检测,微偏振阵列
B类：
点衍射,射干,向光,光学系统,外部干扰,本团,干涉技术,光学成像系统,实时动态检测,技术采用,相干长度,光源,单模,保偏光纤,点源,交线,线偏振光,光路,四分之一,波片,阵列相机,单幅,干涉图,空间同步,衰减器,两束,光强比,干涉条纹,条纹对比度,实验装置,5X,透射式,式微,微缩,投影物镜,RMS,低频振动,振动噪声,噪声环境,重复性测量,重复测量,测量精度,干涉测量
AB值：
0.356529
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