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高频激光对化学气相沉积金刚石的大切深实验
文献摘要：
为了提高化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)金刚石的切深,采用新型的声光调制高重复频率激光器,研究了激光功率、焦点位置、激光重复频率、切割线速度以及激光横膜模式对CVD金刚石切缝宽度、切深以及表面粗糙度的影响.研究结果表明:切深和切缝上表面宽随着激光功率的增大而增大;焦点位置随切深的变化下移,可获得最大切深;重复频率的增大伴随着切深的减小和切缝上表面宽的增大;表面粗糙度随着切割线速度的增大先缓慢减小后显著增大;切缝上表面宽随着模式数的增多而增大.综合切深、缝宽和效率,最后在输出基横模下激光功率为12 W,重复频率为6 kHz,切割线速度为1500 mm/min,焦点位置始终位于切割凹面,获得了效率最快、质量最好的结果,即单向切深最大可达7.2 mm,切面表面的粗糙度为0.804μm,切缝上表面宽度为350μm,满足在低切面表面粗糙度下获得CVD金刚石大切深的要求.
文献关键词：
激光切割;化学气相沉积金刚石;高频激光;缝宽;切深;表面粗糙度
中图分类号：
作者姓名：
王吉;章鹏;张天润;曹小文;张文武
作者机构：
中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波315201;宁波大艾激光科技有限公司,浙江宁波315201
文献出处：
引用格式：
[1]王吉;章鹏;张天润;曹小文;张文武-.高频激光对化学气相沉积金刚石的大切深实验)[J].光学精密工程,2022(01):89-95
A类：
高频激光,化学气相沉积金刚石
B类：
Chemical,Vapor,Deposition,CVD,声光调制,高重复频率,激光器,激光功率,焦点位置,切割线,线速度,切缝宽度,表面粗糙度,缝上,面宽,下移,最大切深,基横模,kHz,凹面,切面,激光切割
AB值：
0.174985
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