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超声振动打孔对微晶玻璃表面质量的影响
文献摘要：
在超声振动打孔时,微晶玻璃最大切深决定了孔壁表面质量.基于脆性断裂材料去除机理,建立了简单实用的超声打孔材料去除率理论关系式,得出影响表面质量的主要工艺参数为:金刚石粒径、刀具转速和进给速度.通过正交实验方法,得到了微晶玻璃超声打孔的最佳工艺参数,金刚石粒径650#、刀具转速12 000 rpm和进给速度5 mm/min.通过工艺参数优化后,微晶玻璃打孔质量得到明显提升,孔壁经过化学抛光处理后,表面粗糙度Ra达到0.055 1 μm,能有效提升激光陀螺腔体的真空特性和激光陀螺的性能.
文献关键词：
超声振动;微晶玻璃;最大切深;表面粗糙度;表面质量
中图分类号：
作者姓名：
刘军汉;熊长新;周杨;刘彦清
作者机构：
华中光电技术研究所—武汉光电国家研究中心,湖北武汉430223
文献出处：
引用格式：
[1]刘军汉;熊长新;周杨;刘彦清-.超声振动打孔对微晶玻璃表面质量的影响)[J].光学与光电技术,2022(03):96-101
A类：
650#
B类：
超声振动,微晶玻璃,表面质量,最大切深,孔壁,脆性断裂,材料去除机理,材料去除率,关系式,主要工艺,金刚石,刀具,进给速度,正交实验,实验方法,最佳工艺参数,rpm,工艺参数优化,打孔质量,化学抛光,抛光处理,表面粗糙度,Ra,激光陀螺,腔体
AB值：
0.294021
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