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CVD金刚石膜激光平整化效率和粗糙度
文献摘要：
对化学气相沉积(CVD)多晶金刚石膜进行激光平整化的正交试验,使用场发射环境扫描电子显微镜(SEM)进行形貌分析,激光共聚焦扫描显微镜测量线粗糙度Ra、面粗糙度Sa和切缝锥度,分析激光参数对CVD膜平整化的影响.结果表明:影响切缝锥度的因素依次为脉冲宽度、脉冲频率、进给速度和激光电流,影响线粗糙度Ra的因素依次为进给速度、激光电流、脉冲频率、脉冲宽度.正交试验优化后,当激光电流为64 A、脉冲宽度为400μs、脉冲频率为275 Hz、进给速度为100 mm/min时,可获得最佳的切槽表面形貌.采用该优化参数进行面扫描,测得面粗糙度Sa为11.7μm;进一步增加入射角度至75°时,面粗糙度Sa降低至1.9μm,实际去除效率达到1.1 mm3/min.
文献关键词：
CVD金刚石膜;激光平整化;面粗糙度;机械研磨
中图分类号：
作者姓名：
李世谕;安康;邵思武;黄亚博;张建军;郑宇亭;陈良贤;魏俊俊;刘金龙;李成明
作者机构：
北京科技大学 新材料技术研究院,北京 100083;北京科技大学顺德研究生院,广东 佛山 528399
文献出处：
引用格式：
[1]李世谕;安康;邵思武;黄亚博;张建军;郑宇亭;陈良贤;魏俊俊;刘金龙;李成明-.CVD金刚石膜激光平整化效率和粗糙度)[J].金刚石与磨料磨具工程,2022(01):61-68
A类：
激光平整化
B类：
CVD,金刚石膜,化学气相沉积,多晶,场发射,环境扫描,形貌分析,共聚,聚焦扫描,扫描显微镜,Ra,面粗糙度,Sa,切缝,锥度,激光参数,脉冲宽度,脉冲频率,进给速度,光电流,影响线,正交试验优化,获得最佳,切槽,表面形貌,优化参数,面扫描,入射角度,去除效率,mm3,机械研磨
AB值：
0.29935
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